當(dāng)前位置:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>制膜設(shè)備>>蒸發(fā)鍍膜>> GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀
GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al 、Au等)和小分子的有機(jī)物。本機(jī)設(shè)有4個(gè)蒸鍍加熱舟,每個(gè)加熱舟都可獨(dú)立進(jìn)行蒸鍍,加熱舟上方有一個(gè)可旋轉(zhuǎn)擋板,當(dāng)其中一個(gè)加熱舟進(jìn)行蒸鍍時(shí)擋板將其它三個(gè)鎢舟遮住,以防蒸鍍材料之間相互污染。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜,可滿足發(fā)光器件及有機(jī)太陽能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價(jià)比較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀腔底部配有5個(gè)水冷電極,在工作過程中可有效保護(hù)電極溫度不會(huì)因溫度過高而熔化,進(jìn)而損壞電極。該機(jī)采用金屬腔室,具有*的真空度,真空度可達(dá)到5.0×10-7torr,樣品臺(tái)可對樣品進(jìn)行加熱,加熱溫度為室溫-500℃,是進(jìn)行高真空蒸發(fā)鍍膜的設(shè)備。
1、真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)。
2、采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。
3、真空腔體設(shè)有1個(gè)KF40旁抽閥(直接與前級機(jī)械泵相連,提高效率)、1個(gè)CF150閘板閥(直接與分子泵相連)、1個(gè)KF16法蘭(安裝電阻規(guī))、6個(gè)CF35法蘭(1個(gè)安裝電離規(guī),1個(gè)安裝2芯電極,1個(gè)安裝膜厚儀)3個(gè)備用。
4、在腔體底部配有5個(gè)水冷電極,可支持4個(gè)蒸鍍加熱舟。
5、樣品臺(tái)安裝在腔體的頂部。
6、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀,膜厚測量分辨率(鋁)為0.1Å。
7、可使用循環(huán)水冷機(jī)。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1800X-ZF4 | |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、工作臺(tái):落地式,占地面積2m2以上。 4、通風(fēng)裝置:需要 | |
主要參數(shù) | 1、輸入:單相AC220V,50Hz/60Hz,功率<2.16KW(不含真空泵) 2、蒸發(fā)輸出:電壓AC 0-8V連續(xù)可調(diào),極限蒸發(fā)電流200A,極限蒸發(fā)功率<1.6KW 3、真空腔:Ø300mm(內(nèi)徑)×400mm,不銹鋼,內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理 4、觀察窗:Ø100mm,采用專用密封圈密封 5、真空泵:高抽速渦輪分子泵,抽速600L/s 6、真空度:8.0x10-4Pa 7、極限真空8.0x10-5Pa 8、漏率:6.7×10-8Pa·L/S 9、樣品臺(tái):φ120 10、蒸發(fā)舟與樣品臺(tái)間距:140-200mm 11、冷卻水需量:15L/min 12、樣品臺(tái)加熱溫度:室溫~500℃,可自動(dòng)控溫,測溫 | |
產(chǎn)品規(guī)格 |
尺寸:900mm×1100mm×1800mm; |